Hochspannungsdioden

Hey kaimartin eine Ionengetterpumpe soll nach Wiki im Hf Bereich arbeiten? Sputterkammer Bild!

Auch schlecht vorstellbar das ohne Vakuum ein hoher Strom fließt. Wenn ja, werden wohl Bremsstrahlen erzeugt oder irgendeine Isolation ist defekt.

Die HV Erzeugung: 2x 2.5KV (eff) ergibt 5 kV (eff) mal Wurzel 2 Spitzenspannung = 7071 Volt

Kannst ja mal einen großen Widerstand zwecks Strombegrenzung in die Trafo Sekundärseite legen und dann messen. Also nicht an die Dioden, sondernd in die Mitte bei der es an die beiden Kondensatoren geht. So ca. 500 kOhm mit ein paar Watt und HV fest. Könnte auch mit einem HV Kondensator als Xc gehen. Mit dem Oszi kannst dann erkennen bei welcher Spannung der "Kurzschluss" kommt.

Zuerst natürlich defekte Bauteile austauschen.

Ein Schaltplan wäre gut.

MfG

Jetzt liegt der Schaltplan zusammen mit diversen Bildern hier:

Die Bilder sind in voller Auflösung, so wie sie aus der Kamera kommen. Bitte bescheid geben, wenn das beim Anschauen nervt. Dann komprimiere ich sie.

Die Bauform der Dioden ist deutlich fetter als die typischen Mikrowellenteile. Die Schrauben sind M4. Der Grund ist, dass sie im regulären Betrieb bis zu 200 mA durchleiten müssen.

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im Zusammenhang:

Etwas Luft nach oben wäre sicher nicht schlecht.

Ich werde versuchen, sie nachzumessen. Hoffentlich liegt das Problem nicht an dieser Stelle, denn es ist ein Doppel-Kondensator 0.25µF/12kV.

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Jupp. Und dass, obwohl ich die Dioden eigentlich als Brückengleichrichtung malen wollte...

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-- Kai-Martin Knaak tel: +49-511-762-2895 Universität Hannover, Inst. für Quantenoptik fax: +49-511-762-2211 Welfengarten 1, 30167 Hannover

Auf dem Bild "gesprengte Diode" ist ein Erdungskabel zu sehen. Zwischen CR7 und CR8? Ich vermute daher das eine Trafo Sekundärseite auf Erde/Masse liegt?

Das "merkwürdige Bauteil" ist tatsächlich ein handelsüblicher Temperatur Switch. Auslösetemperatur steht meist drauf.

Das hinterhältige an Hochspannung, wenn erst einmal eine Funkenstrecke vorhanden war, wird die Funkenstrecke durch Kohlenstoff (verbrannt) meist niederohmig. Manchmal sind das nur Haarlinien. Um den Fehler zu finden ist ein Regeltrenntrafo für die Rep. absolut notwendig. Sonst verbrennen die Bauteile alle Nase lang.

Des weiteren, seit ca. 1 Jahr ist die neue Spannungsnorm gültig. D.h. die Netzspannung kann bis 251 eff gehen. Unbedingt das Gerät auf 240 Volt stellen.

Schaltplan werde ich mir mal zu Gemüte führen. Vorab, CR 1,2,7 und 8 würde ich austauschen und den doppel HV C1,C2 testen.

MfG

Geht schon. Neben dem Kondensator kann es natuerlich auch in den ganzen Widerstandszweigen die an der -HV haengen (vor und hinter den vier

Ich dachte es waeren 100mA. Aber ich wuerde eh bei Getronik in Hamburg nach groesseren Versionen suchen, die man aufs Blech schrauben kann. Einige Loecher bohren und Gewinde schneiden ist weniger Arbeit als eine Art Hochsitz aus einer Platine zu basteln.

Ok, kannst ihn ja mal mit einem Hipot Tester durchklingeln. Die meisten kommen bis 5.5kV und das reicht ja hier. Auch nach Masse durchklingen, nicht dass da etwa das Oel ausgelaufen ist. Wuerde man aber an verklebtem Staub erkennen.

BTW, das "nicht erkennbare" Bauteil im vorletzten Bild sieht wie ein Thermoschalter aus.

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Du meinst wahrscheinlich das Bild im Artikel Sputtern:

Das ist ein Schema zum Spezialfall Hochfrequenz-Sputtern. Ionengetterpumpen arbeiten normalerweise mit Feldionisation, um die Elektronen zum verlassen der Kathode zu bewegen. In dem Varian-Gerät ist von HF nichts zu sehen.

Bin mir nicht sicher, ob ich das richtg verstanden habe. Meinst Du, dass der Widerstand dazu führt, dass die HV ganz langsam hochrampt. Parallel dazu schaut man mit dem Oszio, wann sie wieder zusammen bricht? Und was schließt man dann daraus, wenn die Entladung zum Beispiel bei 3.5kV beginnt? Nur zur Erinnerung: Das Problem ist rein intern vom Netzgerät, ohne jeden Anscluss an die HV.

Jupp. Daher mein Aufhänger, zur Beschaffung der HV-Dioden.

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So aehnlich. Die werden benutzt, um Medizingeraete auf EN60601 Spannungsfestigkeit zu pruefen. Fuer Defi-Sicherheit muss das bis 5kV kommen, deshalb gehen viele Geraete bis etwa 5.5kV. Irgendwo an der Uni muesste sich so ein Dingen auftreiben lassen. Vielleicht weiss hier jemand die deutsche Bezeichung dafuer, falls es nicht die gleiche ist.

Das freut die Lebensversicherung :-)

Das gelb isolierte Kabel ist nicht wirklich ein Erdungskabel. Es ist allerdings über nur 0.5 Ohm und drei in Reihe gschaltete Dioden mit Erde verbunden. Zwischen Trafo anschluss und Erde liegt zusätzlich mindestens eine HV-Diode.

Danke für den Hinweis.

Ja, das sind die HV-Dioden, von denen eine sich frei gesprengt hat.

Hmm. Sonst landen bei mir verdächtige Kondensatoren unter 1µ direkt auf dem Müll ;-) Wie geht man also vor? Nenn-Spannung zum Test anlegen? Entladekurve über einen großen R beobachten und daraus die tatsächliche Kapazität ermitteln?

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Bis 100 mA werden die 7kV laut Manual grob gehalten. Danach get es mit der Spannung bergab. Bei 200mA, bei denen das Gerät durchaus betrieben wird, sind es nur noch ein paar hundert Volt.

Danke. Die Firma hatte ich noch nicht in meiner Adressliste. :-)

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Andere Methode: In Serie mit der Primaerseite des HV Trafos eine

Am besten so einen Hi-Pot Tester ausleihen (z.B. von der Geraetepruefstelle in der Uni-Klinik wenn Eure Uni eine hat), dann jede Seite bis zum Poller hochfahren. Du schriebst ja, der solle 12kV aushalten. Wenn er die gut 5kV von einem gescheiten Hi-Pot Tester schafft, dann sollte er fuer die hier normalerweise anliegenden 3750V je Haelfte ok sein.

Nimm lieber eine dicke aus deren Programm, die so ein halbes Ampere abkann und ordentlich mit Schrauben montierbar ist.

BTW, es ist Getronic mit "c" in Hamburg, die anderen machen Zeiterfassung und so. Das hier ist die richtige Firma:

Preise stehen leider keine bei.

In Hannover ist es nicht ganz so praktisch, wie in Heidelberg, oder in Mainz, wo die Uni-Kliniken in Sichtweite von der Physik sind. Die MHH (Medizinische Hochschule Hannover) ist auf der anderen Seite der Stadt und organisatorisch komplett getrennt. Aber es gibt natürlich freundschaftliche Beziehungen.

In der Uni gibt es auch eine Abteilung, die für elektrische Betriebssicherheit zuständig ist. Dort werde ich als erstes mal nachfragen.

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Muss aber ein Geraet mit DC Ausgang sein.

M.W. gehen diese bis 5kV:

Hier hat wohl jemand etwas aehnliches selbstgefriemelt, mit Addieren von Primaerwindungen koennte man den Bereich runtersetzen:

Evt aber auch nur zwecks besserer Isolation und Befestigung. Die Mikrowellenteile haben m.W meist 12KV Sperrspannung und oft um die 600mA Strom, irgendwie wollen die ca 1KW da ja auch durch. Schaltung ist da auch ein Verdoppler auf etwa 4-5KV. Die Schrauben sind M4. Der Grund ist, dass

Datenblatt findet sich hier

Neben dem Stelltrafo wär auch nen Öl Zündtrafo o.ä auch noch nen nettes Hilfsmittel, aufgrund der Strombegrenzung auf ca 30mA max und der durch den Stelltrafo veränderbaren Spannung, lebt Material (und auch $Mensch hat ne bessere Überlebenschanse) länger bei nem Fehler. Könnte man z.B auch die Dioden und den Kondensator mit testen...

Mit dem "komischen Teil" hast du schon Richtig gesehen, das ist nen Temperaturschalter (kann bei Übertemperatur abschalten, oder aber auch nen Lüfter zuschalten, gibt m.W beide Versionen).

Bez. des Interlock Schalters, wenn man weiß, was man tut, kann man den auch nach oben ziehen, also bitte wirklich vorsichtig sein...

Gruß Jan Conrads

Kai-Martin Knaak schrieb:

Na, hoffentlich PCB- Frei...