Hallo,
wer kann in Deutschland mehrlagige Duennfilmleiterplatten herstellen? Ich suche etwas, was in Richtung BEOL Prozess geht, gerne etwas groessere Strukturen (10um) und mindestens 4 Metalllagen. Meinetwegen auch auf SI-Wafern. Die direkten Halbleiterprozesse gehen aber nicht, weil mir da die Dielektrika zu duenn sind. Die ganze PCB-Feinstleitersache geht nicht, weil das Metall so dick ist und man dann eben keine 10um Leitungen geaetzt bekommt. Ausserdem moechten die PCB-Fertiger gerne ihre Filme und keine Glasmasken benutzen. Und die klassischen Duennfilmleute machen lieber nur eine oder zwei Lagen auf Keramik.
Danke, Martin Laabs