Wafle krzemowe

Jan 13, 2016 1 Replies
14, 10, 7nm. Jak oni to robia? Jakies dodatkowe zabiegi sa wykonywane po polerowaniu aby uzyskac idealnie plaskie powierzchnie?

W dniu 2016-01-13 o 21:54, snipped-for-privacy@gmail.com pisze:

Polerowanie to już od bardzo dawna nie wystarcza - warstwa epitaksjalna plus wygrzewanie, ale to było dawno temu. Co teraz - w sumie pewnie to samo, tylko bardziej kontrolowane warunki. Może jeszcze podtrawiają trochę.

Pozdrawiam

DD

Join the Discussion

Have something to add? Share your thoughts — no account required.

Didn't find your answer?

Ask the community — no account required