maschere processi ecc

salve, sto preparando l'esame di microelettronica I, per quanto riguarda la parte di fisica dei semiconduttori e i vari dispositivi tutto ok. ho un problema che riguarda la realizzazione di semplici circuiti con maschere e processi fotolitografici. qualcuno ha degli appunti personali o conosce dei siti dove poter imparare a realizzare semplici circuiti tramite fotolitografia? grazie in anticipo per l'aiuto

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