Kann man EPROM-Bits sehen?

Nov 03, 2010 26 Replies

Am Wed, 10 Nov 2010 08:33:56 +0000 schrieb Matthias Weingart: ...

1988. Da dürften bei Struckturgrößen >1µm die Bits, rein von der Lichwellenlänge noch einzeln zu sehen sein. Da bin ich 100% sicher. ;-)
MfG Knut

Knut Schottstädt :

Naja, ob die Kamera bei der Makroaufnahme 1 Mikrometer auflöst, mag ich zu bezweifeln, es sei denn der OP hat ein Mikroskop, das 1:1000 auflöst.

M.

Am Wed, 10 Nov 2010 11:21:47 +0000 schrieb Matthias Weingart:

Das ist sicher richtig, auch wenn 1µm nur die absolute Untergrenze für diese Jahreszahl in diesem Bereich an _Struktur_ -auflösung war und man eher mit minimalen Strukturen von 2 -10µm rechnnen muss, da das Herstellungsdatum 1988 ja auf einen terminlich davor liegenden Entwicklungsabschluss bzw. geändertem Shrink-level schließen lässt.

MfG Knut

Bei 1u Prozess wird hier die Zellengrösse auf 4 - 9u geschätzt:

formatting link
Das floating gate hat wohl typisch die Abmessungen der Kreuzung der Leitungen, hier 2x2u in der kleineren Variante.

MfG JRD

Am Wed, 10 Nov 2010 13:49:19 +0100 schrieb Rafael Deliano:

So weit war ich noch gar nicht. ;) Aus welchem Jahr ist diese Technologie?

MfG Knut

Die zitierte Literaturstelle [32] Atsumi "A 120nsec 4 Mb CMOS EPROM" IEEE ISSCC 1987 bezieht sich auf die kleinere SPEAR-Struktur aber Muster in 9u Zellengrösse. D.h. vermutlich 2u Prozess.

4Mb dürfte ein 27C512 gewesen sein.

Wenn es elektrostatisch-optischen Effekt aber gäbe, wäre er wohl in älteren EPROMs mit grösseren Zellen, dickerem Oxid und vielleicht höherer Feldstärke wohl leichter nachweisbar.

MfG JRD

Am Wed, 10 Nov 2010 15:19:23 +0100 schrieb Rafael Deliano: ...

Mit einem x-LSM (Laser-Scanning-Mikroskope) aktivierte Strukturen des aktiven oder passiven Schaltkreises .... ist aber alles schon lange her. ;-)

MfG Knut

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