Mało zbadany bo trudny. Nazywa się ultrafiolet "próżniowy", aczkolwiek nie aż do 1000 eV, tylko kończy się gdzieś powyżej 100 eV. Mało zbadany, bo rozchodzi się tylko w próżni, gazy go skutecznie pochłaniają, stąd jego nazwa i trudności z badaniem. W bliskim UV próżniowym, (poniżej 200 nm) czasem (rzadko) się robi jakieś pomiary i to tylko gazów, ale praktycznie wcale poniżej 100 nm się nie schodzi.