Lustra w maszynie ASML

Apr 28, 2024 Last reply: 2 lata temu 8 Replies

To technologia kosmiczna a nawet wiecej, dokładność powierzchni wynosi



50pm dla lustra o średnicy 450mm, aby mieć świadomość wyzwania przed jaki stanęli w Carl Zeiss to można sobie uświadomić tak że atom helu ma średnicę 62pm a jakby powiększyć lustro do wielkości USA około 4500km to max 'górka' to 0.4um :)

formatting link


W dniu 28.04.2024 o 19:22, Janusz pisze:

Pomylił się, 0.5mm ale to i tak kosmos.

W dniu 28.04.2024 o 19:22, Janusz pisze:

Czym to czyścić?

W dniu 29.04.2024 o 09:02, nadir pisze:

W zasadzie w ogóle nie czyszczą, jest nadmuchiwany wodór aby związać cynę a po 3000 godzin jest wymiana na nowe. Stare jest pewnie albo trawiona ta cyna i polerowane albo szlifowanie i nakładanie warstw odblaskowych od nowa i polerka.

Zdecydowanie wiecej :-)

teraz w ogole wyznacznikiem jakosci jest technologia półprzewodnikowa :-)

Ale wzorca kg z krzemu nie chca zrobic, a bylby taki piekny - konkretna ilosc atomów, monokryształ taki, szescian czy inna figura, o rozmiarach w atomach ... za to cos pisza o kuli.

Hm, internet twierdzi, ze atom helu ma 208 lub 260pm.

Ale moment - lustro zapewne zrobione z atomów krzemu i tlenu ...

I Chinczycy musza to jakos przeskoczyc ...

J.

Czytam tę dyskusję i mam cholerny problem z tymi 50pm. To jest jakieś

0.5 do 0.25 długości wiązania kowalencyjnego. To co przepraszam, to spolerowali wiązania do połowy? A jeszcze wiadomo, że na powierzchni cząsteczki zachowują się inaczej niż w masie materiału bo nie są ograniczone/przyciągane innymi cząsteczkami. A temperatura to są okolice zera absolutnego dla tych 50pm? Przecież atomy w cząsteczce "wibruje" a amplituda OIDP jest tego samego rzędu co długość wiązania.

formatting link
Co prawda te 50pm to jest rms dla obszaru o średnicy 5mm, ale to nadal MZ trudne do uwierzenia.

Cięższe atomy mniejsze ?

Tez mnie ciekawi, no ale jak się mysli o technologii 1.6nm, to lustra muszą być dokładne.

Swoją drogą - to znacznie mniej od długości fali światła. Jak oni to zrobili ?

J.

Powłoka na tych lustrach jest zdaje się cynowa. Atom cyny ma średnicę coś ze 160pm. Wiązanie z tego co szukam, ale widzę tylko w kryształach, w granicach 2-3A.

Ja nie wiem co oni właściwie mierzą i jak bo w końcu te 50pm coś im mierzy. "Micro Interferometer" się nazywa. Trochę ogólna nazwa.

O lustrach to ja nie wiem, ale EUV uzywa promieniowania cyny o długosci fali 13.5nm. Co jeszcze moze do 7nm pasuje, ale teraz ma byc 1.6nm ... znow w wodzie, czy co?

A jak oni pozycjonują i chip i resztę ... są o tym kolejne filmy.

J.

Join the Discussion

Have something to add? Share your thoughts — no account required.

Didn't find your answer?

Ask the community — no account required