Bücher zur Chipherstellung

Hallo Leute!

Kann mir jemand Literatur zur Halbleitertechnologie, sprich: Chipherstellung empfehlen? Bücher, Homepages etc.?

Vielen Dank!

Gruß Peter :o)

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Peter Djokonski
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"Peter Djokonski" schrieb im Newsbeitrag news: snipped-for-privacy@mid.individual.net...

Was ?

Grundlegende Grundlagen, oder detaillierte Prozessparameter, Transistorgeometrieberechnungen oder ASCI-Bausteine, analog oder digital, oder gar Siliziumcarbid oder Polymer ?

Mead/Conway Introduction to VLSI Design

oder gratis:

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Manfred Winterhoff, reply-to invalid, use mawin at gmx dot net
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MaWin

Grundlagen! Ich habe keine Ahnung von Halbleitertechnologie.

:o)

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Peter Djokonski

"Peter Djokonski" schrieb im Newsbeitrag news: snipped-for-privacy@mid.individual.net...

Davon sollte jedes Buch ausgehen, das dem Leser was beibringen will (obwohl viele Autoren das nicht akzeptieren), denn wenn jemand schon Ahnung hat, braucht er das Buch nicht mehr.

Hast du denn Elektronikkenntnisse mit diskreten Bauteilen ? Das wird man voraussetzen.

Was sind fuer dich Grundlagen ?

Die Grundlagen sind eigentlich Atomphysik, Elektronenpotentiale, Dotierungen und Kleiner-Als-Lichtwellenlaengenlithographie.

Musst du das wirklich wissen ?

Die Grundlagen kennen die Hersteller (auch nicht immer).

Willst du vielleicht nicht doch lieber was oberflaechliches ? So PowerPoint Folien um damit Manager-Deppen zu verulken, die nichts wissen, nichts wissen wollen, aber klug rumschwatzen ?

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Oder was handfestes ?

Das letztere braucht man, wenn man wirklich Chips entwerfen will. Da interessiert nicht die Physik, die dahintersteckt, sondern das, was man dem Chiphersteller liefern muss, damit er einen herstellt.

Letzteres beschreiben Mead/Conway und Camenzind ganz gut.

Oder einfach was historisches ?

Alle diese Dinge waeren 'grundlegend' ohne 'Grundlagen' zu sein

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Manfred Winterhoff, reply-to invalid, use mawin at gmx dot net
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MaWin

Das Thema ist umfangreich, man müsste irgendwo Schwerpunkte setzen. Was soll die praktische Anwendung des Wissens sein ? In der Industrie in dem Bereich (welchem?) arbeiten ?

Fängt unten bei der Herstellung der Wafer an:

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Parallel dazu gibt es in Deutschland diverse Maschinenbauer die Anlagen für die nächsten Verarbeitungsschritte herstellen. Die eigentliche Fertigungsstufe sind Fabs von denen es hierzulande sicherlich auch ein Dutzend gibt, selbst wenn nur Infineon und AMD weithin bekannt sind. Parallel zur konventionellen Chipfertigung gibt es Bereiche wie Solarzellen oder Sensoren die ihre spezielle Fertigung haben.

MfG JRD

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Rafael Deliano

Hallo, ich lese gerade U.Hilleringmann Silizium Halbleitertechnik. Beschreibt ganz nett die Verfahren. Sollte eigentlich jede Uni-Bibo haben. Gruß Malte

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Malte Rütemann

Hallo zusammen,

vielen Dank für Eure Antworten und Buchtips!

Um MaWins Frage zu beantworte, was ich mit "Grundlagen" meine: Eine Übersicht zu den wichtigsten gängigen Prozeßschritten in der Halb- leitertechnik.

Zum Beispiel:

o Fotolithografie o Ionenimplantation o Trockenätzend o Naßätzen o Plasmaveraschung o Wärmebehandlung o (PE)CVD o PVD o MBE o ECD o CMP

Ich bin übrigens Physikstudent (7. Semester) mit einem großem Inte- resse an Festkörperphysik.

Herzliche Grüße Peter

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Peter Djokonski

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