nie :) ale zaciekawilo mnie to, bo w cos podobnego na sucho to kiedys bawilismy sie na studiach (PWr) na laborce z przyrzadow polprzewodnikowych. Dostalismy zdjecie struktury (jak sie potem okazalo po przewertowaniu madrych ksiazek uA709) i trzeba bylo rozrysowac co jest co. Zreszta potem pokazywali nam jakis spcjalizowany mikroskop skaningowy ich konstrukcji wlasnie do analizowania ukladow - jesli dobrze pamietam to takze w trakcie pracy ukladu.
Ale to chyba proces dlugotrwaly, jesli trzeba milion tranzystorow wypalic ? Chyba ze to szeroka wiazka przez maske ?
No i na ile precyzyjne sa takie urzadzenia - tzn ja tam wiem ze wiazka moze byc waska, ale jak ja precyzyjnie spozycjonowac na np 2.00003 mm .. i jeszcze powtarzalnie ..
P.S. Jest jakies zrodlo promieniowania o fali rzedu 20nm ? Czy to taki niezbadany zakres ze na swiatlo/UV za malo, na rentgena za duzo ?
J.
Zadne maski sie nie sprawdza. A szybkosc zalezy jedynie od stosunku pojemnosci elektrod odchylajacych do indukcyjnosci i rezystancji doprowadzen oraz (mozna zalozyc ze tu mozemy zadysponowac dowolnie mala wartosc) rezystancji stopni sterujacych.
Jesli mozna w mikroskopie elektronowym skaningowym spokojnie ogladac szczegoly rzedu kilkunastu angstremow to i narysowac wiazka z taka dokladnoscia idzie.
Problem w tym ze niespecjalnie jest. A rentgenem niespecjalnie sie daje dzialac - o ile dla ultrafioletu kilkaset angstremow (kilkadziesiat nanometrow) chromu na mace daje kontrast potezny to promieniowanie z zakresu X przez taka warstwe metalu przechodzi jak przez szklo - czyli kontrast bliski zeru...
Ale jeszcze jakis "czas ustalania" chyba jest. Jak ma byc tak dokladnie to nie wiem czy 1 us da sie osiagnac. A 10 us ... hm, to juz mamy chyba z pare minut na jeden chip, Ile to bedzie na wafer ? I jak tu wyprodukowac pare mln sztuk rocznie - cala hala "naswietlarek" ?
Nie rozumiesz o co mi chodzi - angstremy mozesz obejrzec, ale jak za nastepnym nawietlaniem trafic w poprzednie warstwy ? Zeby sie nie okazalo ze metalizacja rozmija sie z dyfundowanym obszarem o kilka jego wielkosci. Troche tak jak z linijka czy tasma miernicza - ma podzialke co milimetr. Ale o ile mm moze sie rozjechac odleglosc 10 m w dwoch sztukach z dwoch firm ?
Skaningowy mowisz ? Jak wyglada osiagana powtarzalnosc skanowania - tzn o ile sie rozmija pozycja powiedzmy w 1/4 linii od pozycji w poprzedniej linii. I nie chodzi mi o to ze moge do angstremow zejsc, tylko czy zdjecie 10k*10k piksli bedzie ladne czy poszarpane. Hm, w zasadzie to nawet 100k*100k ..
Tak mi sie wydawalo. Niezbadany zakres :-)
J.
Chocby lasery na swobodnych elektronach, jak ten tu:
Maski tez nie stoja w miejscu. Ciekawostka:
Pozdrawiam Piotr Wyderski
Have something to add? Share your thoughts — no account required.
Ask the community — no account required