Hi, All!
вобщем, тут начались проблемы... подготовил я платку абразивной губкой и пемолюксом. критерий-- максимальная смачиваемость поверхности водой. вроде выполнил.
далее-- сложности. брызгаю на заготовку с расстояния 10-15 см. получается, что струя довольно сильная, а отдельные капли довольно большие и "пробивают" только что набрызганный слой. пока не засвечивал (шаблон ещё не готов). в каком направлении стоит двигаться: сразу на ум пришло только два-- первый-- увеличить расстояние до 20-25 сантиметрв, чтобы распыление шло слабым потоком капелек; второе-- воспользоваться тем, что заготовка смачивается и смочить е чем-то, например, спиртом. как оно грамотно сделать?
ещё вопрос, как избежать затекания фоторезиста на края?
Oleg